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设备简介

快速热退火机(东之星RTP500Z)

发布时间：2025-03-04    作者：    来源：    浏览次数：    打印


仪器型号：RTP500Z

生产厂家：北京东之星应用物理研究所

技术参数：

（1）温度范围：100-1300℃;

（2）升温速率：0.001-220℃/秒可调；

（3）样品最大尺寸：4英寸，最大厚度2.8mm；

（4）测温装置：K型热电偶；

（5）最大降温速率：80℃/s。

主要功能及特色：

通过快速升温和冷却，精确控制材料的性能，避免长时间高温对材料造成损害。常用于半导体器件制造。

预约链接：

http://equip.csu.edu.cn/lims/!equipments/equipment/index.3605.reserv

校内收费标准：

50元/次。

联系人：

马老师 18692257791


 


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